WP-02系列是ULVAC專為中低真空度、高潔凈度應(yīng)用打造的干式螺旋爪式真空泵。與傳統(tǒng)油泵不同，它在壓縮腔內(nèi)完全不需要密封油，從根源上杜絕了油蒸氣返流污染工藝腔體的風(fēng)險。

• *潔凈：排氣無油霧，無需安裝復(fù)雜的油霧過濾器，特別適合對碳氫化合物敏感的光學(xué)鍍膜和半導(dǎo)體工藝。
• 結(jié)構(gòu)創(chuàng)新：采用非接觸式的螺旋爪轉(zhuǎn)子設(shè)計，轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵腔之間保持微小間隙，無機械摩擦。這不僅消除了磨損產(chǎn)生的微塵，更大幅延長了設(shè)備壽命。

1. *的耐腐蝕與耐溶劑性

在許多化學(xué)氣相沉積（CVD）或清洗工藝中，工藝氣體往往含有腐蝕性成分或易凝結(jié)溶劑。WP-02通過優(yōu)化的氣路設(shè)計和特殊的表面涂層處理，能夠有效防止腐蝕性氣體對泵體的侵蝕，并能順暢排出少量冷凝液，避免泵體卡死。相比普通干泵，其在惡劣工況下的穩(wěn)定性表現(xiàn)尤為突出。

2. *的節(jié)能與靜音

得益于高效的電機驅(qū)動系統(tǒng)和優(yōu)化的流體動力學(xué)設(shè)計，WP-02在提供穩(wěn)定抽速的同時，能耗顯著低于同級別的油旋片泵。其運行噪音控制在極低水平（通常低于65dB），為操作人員創(chuàng)造了更加舒適的工作環(huán)境，也符合現(xiàn)代工廠嚴(yán)格的環(huán)保降噪標(biāo)準(zhǔn)。

3. “免維護”帶來的低成本運營（TCO）

對于工廠管理者而言，WP-02*的魅力在于極低的維護成本。

• 無換油成本：省去了購買真空泵油的費用。
• 無廢油處理費：不再需要支付昂貴的危廢處理費用，符合日益嚴(yán)格的環(huán)保法規(guī)。
• 長周期保養(yǎng)：由于無內(nèi)部摩擦，主要易損件極少，通常只需年度檢查即可，大幅減少了因停機保養(yǎng)造成的產(chǎn)能損失。據(jù)實際案例測算，使用WP-02替代傳統(tǒng)油泵，3年內(nèi)的綜合運營成本可降低30%-40%。