任何方向類型 TG-F 系列
使用油脂潤滑球軸承，用于小型、輕便和低成本的泵?？箾_擊設計使渦輪分子泵能夠安裝在移動設備或運動部件上。產品陣容提供從 50 L/s 到 2400 L/s 的型號。
潤滑脂潤滑球軸承型渦輪分子泵的橫截面
產品陣容
TG800F
■ 任何方向
■ 緊湊的尺寸
■ 節(jié)能
■ 快速啟動
■ 帶排氣口快速關閉
■ 用于涌入空氣的耐用結構
■ 串行通信
※RS232C 串行接口
■ 通過安全標準NRTL/SEMI-S2/CE
應用
■ 半導體生產
■ 電子槍排氣、電離源排氣
■ FPD制造
■ 表面處理、表面改性
■ 各種電子元件的制造
■ 分析、檢測設備
■ 燈具生產、光學元件生產
■ 加速裝置、輻射設施、核聚變研究
■ 熱處理
■ 研究與開發(fā)
*如果排出腐蝕性氣體，請選擇我們的化學用TG-M或TG系列。
| 型 | TG800F | TG800F*A*-60 TG800F*W* | |
| 入口法蘭 | VG150/ISO-B160/CF160 標準 | ||
| 體積流量 | N2（長/秒） | 820 | |
| N2 （帶防護屏） （長/秒） | 750 | ||
| H2（長/秒） | 650 | ||
| *壓縮 比 | N2 | 1×108 | |
| H2 | 1×104 | ||
| 基礎壓力 | （賓夕法尼亞州/托爾） | <1×10-6/<7.5×10-9 | |
| * 吞吐量※1※2 | （SCCM） | 330 | 860 |
| 啟動時間※2 | （分鐘） | 7-9 | 5.5-7 |
| 關機時間※2 | （分鐘） | 27-32 | 12-15 |
| *背 壓 | （賓夕法尼亞州/托爾） | 330/2.5 | |
| 的 前級真空泵 | （升/分鐘） | ≧250 | |
| 位置 | 任何方向 | ||
| 重量 | VG?ISO-R/CF（kg） | 27/26 | |
| 控制器 | TC1104型 | TC1103型※3 | |
*1 ： 使用500L/min的前級真空泵時。
*2 ： 因電源型號而異。（標準：TC1104）
*3 ： 如果風冷，則必須更換風冷風扇。（TG800F***-60）
[使用環(huán)境溫度]
確保達到極限壓力的環(huán)境溫度范圍為 10-23°C。風冷型允許環(huán)境溫度為10-32°C，水冷型允許環(huán)境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水*溫度為30°C，冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。
[對應氣體]
一些使用氣體會使?jié)櫥蛢炔苛慵冑|。請聯(lián)系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。
在手機上查看
京公網安備 11010802023672號
溫馨提示：為規(guī)避購買風險，建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。