任何方向類型 TG-F 系列
使用油脂潤滑球軸承，用于小型、輕便和低成本的泵?？箾_擊設計使渦輪分子泵能夠安裝在移動設備或運動部件上。產品陣容提供從 50 L/s 到 2400 L/s 的型號。
潤滑脂潤滑球軸承型渦輪分子泵的橫截面
產品陣容
TG50F
任何方向
緊湊的尺寸
節(jié)能
快速啟動
帶排氣口快速關閉
用于涌入空氣的耐用結構
串行通信
※RS232C串行接口
應用
半導體生產
電子槍排氣、電離源排氣
FPD制造
表面處理、表面改性
各種電子元器件的制造
分析、檢測設備
燈具生產、光學元件生產
加速裝置、輻射設施、核聚變研究
熱處理
研究與開發(fā)
*如果排出腐蝕性氣體，請選擇我們的化學用TG-M或TG系列。
| 型 | TG50F | |
| 入口法蘭 | VG65/ISO-R63/CF63 標準 | |
| 體積流量 | N2（長/秒） | 51 |
| N2（帶防護 屏）（長/秒） | 49 | |
| H2（長/秒） | 12 | |
| *壓縮比 | N2 | 1.4×107 |
| H2 | 5×102 | |
| 基礎壓力 | VG?ISO-R/CF （帕） | <3×10-6 |
| VG?ISO-R/CF （Torr） | <2.3×10-8 | |
| *吞吐量※1 | N2（SCCM） | 80 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 1-1.5 |
| 關機時間 | （分鐘） | 1-1.5 |
| *背壓 | （賓夕法尼亞州/托爾） | 1330/10 |
| 的前級真空泵 | （升/分鐘） | ≧50 |
| 位置 | 任何方向 | |
| 重量 | VG?ISO-R/CF（kg） | 4.2/6 |
| 控制器 | TC64型 | |
*1 ： 使用100L/min的前級真空泵時。
[使用環(huán)境溫度]
確保您達到極限壓力的環(huán)境溫度范圍為 10-23°C。風冷型允許環(huán)境溫度為10-32°C，水冷型允許環(huán)境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水*溫度為30°C，冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。
[對應氣體]
一些使用氣體會使?jié)櫥蛢炔苛慵冑|。請聯系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。
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京公網安備 11010802023672號
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