萬級電子廠潔凈室潔凈度檢測項目及要求 內(nèi)容和方法--安衡檢測
十萬級車間的潔凈度標準是大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得過3500000個,大或等于5微米的粒子數(shù)不得過20000個;萬級車間的潔凈度標準是直徑大于等于0.5μ的塵粒數(shù)不能過350000個,直徑大于5μ的塵粒數(shù)不能過2000個;
萬級藥廠凈化車間的檢測:1. 測定之前,凈化空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)運行至少24小時。2. 測定在靜態(tài)下進行測試人員必須穿戴好潔凈服裝。3. 測試儀器為激光塵埃粒子計數(shù)儀,型號Y09-A。4. 測定點高度距地面1~1.2m。5. 測定點數(shù)的確定,根據(jù)*有關標準,*少采樣點數(shù)為,NL=A0.5,其中A為無塵室面積(㎡),根據(jù)計算*少采樣點為NL=38。6. 每個測定點每次采樣時間為1分鐘,每個點測試3次,取平均值。平均含塵濃度符合潔凈度萬級標準為合格。
電子廠潔凈室潔凈度檢測項目及要求 常規(guī)檢測項目:塵埃粒子、浮游菌、沉降菌、溫度、相對濕度、壓差、換氣次數(shù)必須做項目:車間混合照度、車間空氣細菌菌落數(shù)、水質(zhì)38項檢測
因為凈化工程的檢測主要關注兩種粒徑,即0.5um和5um。等速采樣對≤0.5um的顆粒影響不大。如果采樣空氣用于計算大于或等于 0.5um 的粒徑濃度,如果這些粒子不受等速條件的影響,則計算結果不受影響。因此潔凈室區(qū)域非等速采樣只對大于等于0.5um的顆粒有意義。
在確認級別時,應當使用采樣管較短的便攜式塵埃粒子計數(shù)器,避免≥5.0μm懸浮粒子在遠程采樣系統(tǒng)的長采樣管中沉降。在單向流系統(tǒng)中,應當采用等動力學的取樣頭。
電子制造業(yè)廠潔凈室檢測要求潔凈度等級、風量、溫度、濕度、壓差、設備排風等按需要進行控制。潔凈室的照度和截面風速按設計或規(guī)范控制。另外,這類潔凈室對靜電的要求非常高。嚴格的。其中,對濕度的要求更為嚴格。
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